主要从事硅辐射探测器技术和半导体工艺TCAD技术的研究,研究内容主要包括硅PIN结构探测器的低漏电、耐高压、高灵敏度的工艺和器件结构设计技术;硅和SiC等半导体材料的离子注入、高温退火、深刻蚀工艺的模型和仿真算法;新材料半导体器件及其抗辐照性能研究等内容。主持和参加了国家自然科学基金、国家重大专项、973等多项科研项目,先后发表学术期刊论文20余篇,学术会议论文40余篇,获得发明专利10项。获得2008年北京市科学技术奖,技术发明类一等奖,2009年和2016年,教育部科技进步一等奖,2018年国家技术发明二等奖。